装置名 |
料金(学外) |
料金(学内) |
| デバイスシミュレーター |
680円(技術代行・技術補助込 4,370円) |
330円 |
| スパッタリング装置 |
940円(技術代行・技術補助込 4,250円) |
550円 |
| FIB-SEM |
5,680円(技術代行・技術補助込 12,300円) |
1,500円 |
電子線蒸着装置 |
960円(技術代行・技術補助込 4,660円) |
540円 |
| 電子線描画装置 |
2,680円(技術代行・技術補助込 6,370円) |
1,500円 |
走査型プローブ顕微鏡 |
1,520円(技術代行・技術補助込 5,210円) |
750円 |
| ウェハーダイシングマシン |
600円(技術代行・技術補助込 4,300円) |
300円 |
電界放出型走査電子顕微鏡 |
1,380円(技術代行・技術補助込 5,080円) |
750円 |
| パターン投影リソグラフィシステム |
480円(技術代行・技術補助込 3,800円) |
250円 |
インクジェットパターン形成装置 |
1,420円(技術代行・技術補助込 5,430円) |
750円 |
| 反応性イオンエッチング |
840円(技術代行・技術補助込 4,540円) |
540円 |
マスクアライナー |
200円(技術代行・技術補助込 3,510円) |
150円 |
| 触針式表面形状測定器 |
160円(技術代行・技術補助込 3,850円) |
100円 |
半導体特性評価システム |
190円(技術代行・技術補助込 5,510円) |
80円 |
