電子線描画装置
装置名 |
電子線描画装置 |
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| 型番名 | ELS-7500EX | |
| メーカー名 | ELIONIX | |
| 使用目的 |
電子ビームでレジスト上に微細なパターンを直接描画するための装置です。 蒸着やエッチング等のプロセスと組み合わせることによって、微細な金属電極パターン作製や溝パターン加工を行うことができます。 |
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| 描画例へのリンク | 電子線描画装置の詳細ページへ |
装置仕様
| 電子銃エミッター | ZrO/W熱電界放射 |
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| 加速電圧 | ５～50 kV |
| 最小線幅 | 10 nm |
| 試料サイズ | 最大4インチウェハ |
| ステージ移動範囲 | X:100 mm以上, Y:110 mm以上 |
| 重ね合わせ精度 | 40 nm |
| フィールド繋ぎ精度 | 40 nm |