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プローバー・電気特性評価装置

装置名
プローバー及びデバイス電気特性評価装置
analyzer
構成 プローバー(画像上):ハイソル HMP-400型
電気特性評価装置(画像下):アジレント 半導体デバイスアナライザ(B1500)
主な仕様
  • 室温にて最大4インチΦの試料まで測定可能
  • 高分解能SMU(ソース・メジャー・ユニット)2ch
  • 高出力SMU 2ch
  • 容量測定ユニット
  • 高速IVユニット2ch
使用目的 作製したデバイスの電気的特性を評価できます。基本となる電流電圧特性評価(4ポートのうち2ポートは高電圧対応)・容量特性評価に加えて、高速信号パルス印可とサンプリングによる過渡応答評価が可能なことが本装置の特徴です。
参考データへのリンク

装置仕様

プローバー
  • ・ケルビン測定プローブ(APT社) 2ポート
  • ・測定プローブ 2ポート
  • ・チャック 1ポート
電流電圧特性評価ユニット
  • High-Resolution SMU(2ポート)
  • ・最大電圧測定レンジ:100V 分解能:100μV
  • ・最小電圧測定レンジ:0.5V 分解能:0.5μV
  • ・最大電流測定レンジ:100mA 分解能:5μA
  • ・最小電流測定レンジ:10pA 分解能:1fA
  • High-Power SMU(2ポート)
  • ・最大電圧測定レンジ:200V 分解能:200μA
  • ・最小電圧測定レンジ:2V 分解能2μA
  • ・最大電流測定レンジ:1A 分解能:1μA
  • ・最小電流測定レンジ:1nA 分解能:10fA
容量特性評価ユニット
  • ・AC出力周波数 1kHz~5MHz
  • ・AC出力レベル: 10mVrms-250Vrms
  • ・DCバイアス:0~±100V
高速I-V測定ユニット
  • ・型番 B1530A
  • ・ポート数: 2
  • ・出力波形タイミング分解能: 10nsec
  • ・出力波形最小パルス幅: 300nsec
  • ・出力波形電圧範囲: -10V~10V
  • ・最小サンプリング間: 5nsec
  • ・電流測定レンジ:1mA~10mA
  • ・測定実効分解能: 0.2%