パターン投影リソグラフィーシステム
装置名 |
パターン投影リソグラフィーシステム |
 |
| 型番名 | µPG501 | |
| メーカー名 | Heidelberg Instruments | |
| 使用目的 | デジタルミラー素子(DMD)を用いることでパターン投影し、クロムマスクブランクやレジスト塗布基板に最小1 µmの回路パターンを超高速で作成できる。 | |
| 参考データへのリンク | 装置の詳細ページ |
装置仕様
| 光源 | LED(波長390nm) |
|---|---|
| 最大基板サイズ | 5インチ |
| 対応フォーマット | DXF, GDSII, Gerber, CIF等 |
| 対応レジスト | SU-8, i線およびg線用等 |