FIB-SEM
装置名 |
FIB-SEM |
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| 型番名 | Helios NanoLab 600i | |
| メーカー名 | FEI（日本エフイー・アイ株式会社） | |
| 使用目的 | SEM観察を行いながらFIB(集束イオンビーム)によるナノ構造の微細加工を実施することが出来る。TEM試料作製、3次元構造解析、元素分析も可能。 | |
| 参考データへのリンク | 装置の詳細ページ |
装置仕様
| 電加速電圧 | 1-30 kV (電子ビーム) | 0.5-30 kV (イオンビーム) |
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| デポジション用ガス | C, Ptガス |