ウェハーダイシングマシン
装置名 |
ウェハーダイシングマシン |
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型番名 | DAD322 | |
メーカー名 | 株式会社ディスコ | |
使用目的 |
ウエハから希望サイズのチップに切り出す装置。 Si、GaAs、GaN、SiC、サファイヤ、石英ガラス、プリント基板の切削が可能。 |
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参考データへのリンク | DAD322の詳細ページへ |
装置仕様
最大基板サイズ | Φ6インチ |
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切削可能範囲 | 150mm |
切削速度 | 0.1~100mm/s |
ダイシング深さ精度 | 0.005mm |
位置決め精度 | 0.005mm |
ダイシングライン太さ | 0.005mm |