ウェハーダイシングマシン
装置名 |
ウェハーダイシングマシン |
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| 型番名 | DAD322 | |
| メーカー名 | 株式会社ディスコ | |
| 使用目的 |
ウエハから希望サイズのチップに切り出す装置。 Si、GaAs、GaN、SiC、サファイヤ、石英ガラス、プリント基板の切削が可能。 |
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| 参考データへのリンク | DAD322の詳細ページへ |
装置仕様
| 最大基板サイズ | Φ6インチ |
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| 切削可能範囲 | 150mm |
| 切削速度 | 0.1～100mm/s |
| ダイシング深さ精度 | 0.005mm |
| 位置決め精度 | 0.005mm |
| ダイシングライン太さ | 0.005mm |