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触針式表面段差計

装置名
触針式表面段差計
Alphastep
型番名 Alpha-Step D-500
メーカー名 KLA-Tencor
使用目的 試料表面の段差(膜厚)測定が可能。

装置仕様

測定長さ 30 mm
サンプルステージ直径 140 mm
サンプル厚さ(最大) 20 mm
垂直測定レンジ(最大) 1200 µm
垂直測定分解能 0.038 nm (2.5 µm Range)
観察倍率 ×1, ×1.3, ×2, ×4